微細孔加工ガラスウエハー
貫通孔ガラスウエハーに加え、より高度な加工技術を要する微細孔加工ガラスウエハーの製作にも対応しております。
お客さまのご要望に応じて、仕様のご相談も承っております。
用途
- 圧力センサー
- TGV（Through-Glass Via、ガラス貫通電極）
- インターポーザ
特徴
- チッピングが少ない
- テーパー穴の他、ストレート穴にも対応可能
- アニール処理によるガラスウエハーの残留応力を低減
- 穴加工周辺部が平坦
- シリコンウエハーと陽極接合可能な光学研磨仕上げ
スペック情報
主な仕様は次の通りです。
詳細につきましてはお気軽にお問い合わせください。
| 外寸 | ９インチ以下 |
|---|---|
| 厚さ | 0.3～2.0mm |
| 孔径 | Φ0.15ｍｍ 0.7ｍｍ以上 |
| 貫通孔角度 | ０°~45゜以上 |
| 寸法公差 | ±0.05ｍｍ |
| 表面粗さ | 0.05μｍ以下 |
貫通穴形状・角度（孔断面形状）
レーザー加工やエッチング加工では対応が難しいとされる、ストレート（角度ゼロ）の貫通孔から、45°以上のテーパー貫通孔まで加工が可能です。
