ガラス状カーボン
（AC-140・ACコート）
独自の技術で開発したガラス状（アモルファス）カーボンは、従来の炭素材料と異なり、気孔のない緻密な等方性組織が特徴です。
特徴
- 耐熱性に優れ、高強度である。
- 耐薬品性、耐腐食性に優れている。
- 発塵（炭素紛）のない、高純度でクリーンな材料。
- 溶融ガラス、溶融金属にぬれにくく付着しない。
- 導電性、熱伝導性を有する。
- 熱膨張が小さく、熱衝撃にも強い。
- ガスバリヤー性及び液体遮断性が高い。
- 黒鉛部品へのコーティングも可能（緻密処理、光沢処理、含浸処理）
特性例
一般特性
| 項目 | 単位 | AC-140 |
|---|---|---|
| かさ密度 | Mg/m³ | 1.55 |
| 気孔率 | % | 0 |
| 曲げ強さ | MPa | 200 |
| 曲げ弾性率 | GPa | 30 |
| 固有抵抗 | μΩm | 40 |
| 熱膨張係数 | /10⁶ K | 2〜3.4 |
| 熱伝導率（20℃） | W/mK | 6.2 |
| ショア硬度 | HS | 130 |
| 灰分 | ppm | 50未満 |
※高純度処理対応も可能です。
溶出試験（フッ化水素水溶液に浸漬、金属イオン溶出データ）［単位：ppb］
| 元素 | 溶出液 | ブランク | 元素 | 溶出液 | ブランク |
|---|---|---|---|---|---|
| Na | <0.1 | <0.1 | Fe | <0.1 | <0.1 |
| K | <0.1 | <0.1 | Cr | <0.1 | <0.1 |
| Mg | <0.1 | <0.1 | Ni | <0.1 | <0.1 |
| Ca | <0.1 | <0.1 | B | <0.5 | <0.5 |
| Al | <0.5 | <0.5 |
耐薬品性（◎：反応なし）
| 薬品 | AC-140 |
|---|---|
| リン酸（98%） | ◎ |
| フッ酸（50%） | ◎ |
| 硝酸（61%） | ◎ |
| 硫酸（97%） | ◎ |
| 塩酸（36%） | ◎ |
| 混酸 | ◎ |
| 水酸化ナトリウム（50%） | ◎ |
| アンモニア（28%） | ◎ |
| PTS水溶液（50%） | ◎ |
用途
- 半導体製造装置用部材/エッチング、CVD、スパッタ他
- 炭素膜形成用のターゲット材
- ガラス、金属などの溶融冶具
- エレクトロニクス関係ヒーター、サセプター
- 分析機器の導電性冶具
資料提供：日清紡ケミカル株式会社様