ガラス状カーボン
【資料御提供：日清紡ケミカル株式会社様】
ガラス状カーボンプレート（AC-140､AC-140S）
独自の技術で開発したガラス状（アモルファス）カーボンは、従来の炭素材料と異なり、気孔のない緻密な等方性組織が特徴です。
特徴
・耐熱性に優れ、高強度である。
・耐薬品性、耐腐食性に優れている。
・発塵（炭素紛）のない、高純度でクリーンな材料。
・溶融ガラス、溶融金属にぬれにくく付着しない。
・導電性、熱伝導性を有する。
・熱膨張が小さく、熱衝撃にも強い。
・ガスバリヤー性及び液体遮断性が高い。
特性例
用途
・半導体製造装置用部材/エッチング、CVD、スパッタ他
・炭素膜形成用のターゲット材
・ガラス、金属などの溶融冶具
・エレクトロニクス関係ヒーター、サセプター
・分析機器の導電性冶具
