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ガラス状カーボン

ガラス状カーボン写真ガラス状カーボン写真ガラス状カーボン写真
【資料御提供:日清紡ケミカル株式会社様】


ガラス状カーボンプレート(AC-140、AC-140S)

独自の技術で開発したガラス状(アモルファス)カーボンは、従来の炭素材料と異なり、気孔のない緻密な等方性組織が特徴です。

特徴

・耐熱性に優れ、高強度である。
・耐薬品性、耐腐食性に優れている。
・発塵(炭素紛)のない、高純度でクリーンな材料。
・溶融ガラス、溶融金属にぬれにくく付着しない。
・導電性、熱伝導性を有する。
・熱膨張が小さく、熱衝撃にも強い。
・ガスバリヤー性及び液体遮断性が高い。

特性例

ガラス状カーボン一般特性

溶出試験(フッ化水素水溶液に浸漬、金属イオン溶出データ)

耐薬品性

用途

・半導体製造装置用部材/エッチング、CVD、スパッタ他
・炭素膜形成用のターゲット材
・ガラス、金属などの溶融冶具
・エレクトロニクス関係ヒーター、サセプター
・分析機器の導電性冶具


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