炭素製品

当社が扱っている「炭素製品」を用途別にご紹介します。
【用途】　半導体用 | 機械用 | 冶金用

■半導体用炭素製品

等方性黒鉛	単結晶引き上げ用ヒーター、ルツボ、封止用治具
ガラス状カーボン	エッチング用電極、フォーカスリング、サセプター、クランプリング、ディスク
炭素繊維強化樹脂 (CFRP)	ウェハー搬送用アーム、液晶基盤搬送用アーム
炭素繊維	真空・還元性雰囲気電気炉用断熱材

■機械用炭素製品

等方性黒鉛	軸受用カーボン　 (超高速回転軸受：空気軸受用高速回転に対応)
樹脂含浸カーボン	真空ポンプ、コンプレッサー用ベーン
金属含浸カーボン	真空ポンプ、コンプレッサー用ベーン

■冶金用炭素製品